高温炉用熱電対
装置内の汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用し、クリーンルーム内で製作します。
高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷します。
又、ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正を行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行します。
【特長】
- 特長(1)3インチの時代から培ってきた製造技術を活かし、最先端装置に搭載
- 特長(2)内部に使用している磁性管やSiC管、石英管は装置メーカ採用品を使用
- 特長(3)温度データは100~1200℃まで5℃毎に提示
- 特長(4)専用のクリーンルームにて生産
- 特長(5)校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能
【導入実績・使用例】
- 半導体製造装置
- 陶芸用窯
【関連資料】
極細被覆熱電対
面実装部品や微小半導体表面の温度計測など、極めて小さい測定物を温度計測する場合温度センサーよりの放熱を最小限に抑える必要があります。
極細被覆熱電対は、外径φ0.1mmのK熱電対にポリイミド被覆加工し、ツイストペア加工した状態で供給致します。
【特長】
- 特長(1)耐熱温度260℃にて、優れた応答性を実現
- 特長(2)ポリイミドを使用している為、高い絶縁性
- 特長(3)独自方式のツイストペア加工により、操作性が向上
- 特長(4)ご希望により、先端加工、端末端子加工可
- 特長(5)極めて軽量な為、遠心力の影響が少ない
【導入実績・使用例】
- ウエーハ温度計測
- 微小チップ部品温度計測
【関連資料】
測温抵抗体・熱電対
非接触温度センサ
フェンオールでは超小型の非接触センサをラインナップしています。また、従来測定が難しかった金属・光沢面をも測定出来るタイプも提供出来ます。
【特長】
- 特長(1)金属・光沢面測定タイプ[オプテックス社製品]
- 特長(2)小型センサヘッドタイプ[オプテックス社製品]
- 特長(3)業界最高レベルの防水性能IP69K[オプテックス社製品]
- 特長(4)温度調節器のK熱電対入力端子にそのまま接続可能[Excergen社製品]
【導入実績・使用例】
- タイヤ製造装置
- 金属部品の焼き戻し温度管理
- ガラス基板の加熱管理
- 成型樹脂金型温度監視
- 食品の冷却確認