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分野・トレンドから探す:加熱・キュア

ウエーハの熱処理は、半導体製造に欠かせない主要プロセスです。
当社は長年にわたり面内均一性を実現するため、高度な熱解析技術を用い、高い再現性を実現するため、発熱体はパターン化を行い個体間のばらつきを最小に抑えたホットプレートを開発、製造、販売しております。
これらを基幹技術としてウエーハ加熱ユニット、制御機能を組み込んだ熱処理装置なども製作対応致します。

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