温度センサ

高温炉用熱電対

装置内の汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用し、クリーンルーム内で製作します。
高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷します。
又、ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正を行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行します。

【特長】

• 特長（1）3インチの時代から培ってきた製造技術を活かし、最先端装置に搭載
• 特長（2）内部に使用している磁性管やSiC管、石英管は装置メーカ採用品を使用
• 特長（3）温度データは100～1200℃まで5℃毎に提示
• 特長（4）専用のクリーンルームにて生産
• 特長（5）校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能

【導入実績・使用例】

• 半導体製造装置
• 陶芸用窯

【関連資料】

カタログ

熱電対付ウエーハ　Siシリーズ

ウェーハ表面に加工された溝により熱アンカを取り、センサからの放熱による誤差を軽減しています。
測定ポイントの数及び位置は自由に選定でき、真空対応、耐水対応も製作可能です。
マスク・LCD用ガラス基板やSiC基板にも対応致します。

【特長】

• 特長（1）300mmで最大25ポイントまでセンサ取付可能
• 特長（2）低温用（0～250℃）・中温用（0～600℃）・高温用（0～1200℃）の3つのレンジで提供
• 特長（3）ウェーハ上の熱アンカにより、優れた測温性
• 特長（4）シリコン以外にも石英ガラス、半導体マスク用ガラス、SiCなどへの実績あり

【導入実績・使用例】

• 半導体製造装置メンテナンス用途

【関連資料】

カタログ

極細被覆熱電対

面実装部品や微小半導体表面の温度計測など、極めて小さい測定物を温度計測する場合温度センサーよりの放熱を最小限に抑える必要があります。
極細被覆熱電対は、外径φ0.1mmのK熱電対にポリイミド被覆加工し、ツイストペア加工した状態で供給致します。

【特長】

• 特長（1）耐熱温度260℃にて、優れた応答性を実現
• 特長（2）ポリイミドを使用している為、高い絶縁性
• 特長（3）独自方式のツイストペア加工により、操作性が向上
• 特長（4）ご希望により、先端加工、端末端子加工可
• 特長（5）極めて軽量な為、遠心力の影響が少ない

【導入実績・使用例】

• ウエーハ温度計測
• 微小チップ部品温度計測

【関連資料】

カタログ

測温抵抗体・熱電対

各種産業用装置及び、工場設備にはさまざまな用途に適した温度センサが使用されています。
弊社は、特殊仕様のものから、一般産業用の液体、固体、ガス等の温度測定、制御、監視用途としての各種標準プローブを取り揃えています。
また、ご希望の形状のものを短納期で製作します。

【特長】

• 特長（1）標準形状から特殊形状までニーズに応えたセンサラインナップ
• 特長（2）K/J/E/T/R/S/Bの各種熱電対を用意
• 特長（3）測温抵抗体は旧JISタイプも製造可能
• 特長（4）トレーサビリティ証明書の発行も可能
• 特長（5）1本からでも受注対応可能

【導入実績・使用例】

• 一般産業用

【関連資料】

カタログ　取扱説明書

非接触温度センサ

フェンオールでは超小型の非接触センサをラインナップしています。また、従来測定が難しかった金属・光沢面をも測定出来るタイプも提供出来ます。

【特長】

• 特長（1）金属・光沢面測定タイプ[オプテックス社製品]
• 特長（2）小型センサヘッドタイプ[オプテックス社製品]
• 特長（3）業界最高レベルの防水性能IP69K[オプテックス社製品]
• 特長（4）温度調節器のK熱電対入力端子にそのまま接続可能［Excergen社製品］

【導入実績・使用例】

• タイヤ製造装置
• 金属部品の焼き戻し温度管理
• ガラス基板の加熱管理
• 成型樹脂金型温度監視
• 食品の冷却確認